非色散原子荧光激发光源杂质检测方法与装置研究
贾亚青,吴红,沈正生
北京市计量检测科学研究院, 北京 100029
Research on Method and Device of Non-disperse Atomic Fluorescence Exciting Source Impurity Detection
JIA Ya-qing,WU Hong,SHEN Zheng-sheng
Beijing Institute of Metrology, Beijing 100029, China
摘要 研究了一种非色散原子荧光激发光源杂质检测的方法,并研制了检测用标准装置,开发了杂质判别软件。该装置的检测波长范围为190～350nm,波长最大允许误差±0.3nm,实现了激发光源是否含杂质及杂质元素判定的快速检测功能。通过实验验证了检测方法、研制的标准装置及测试软件的正确性。
关键词 ：
计量学 ,
非色散原子荧光 ,
激发光源杂质 ,
检测装置 ,
空心阴极灯
Abstract ：A detect method of impurity in non-dispersive atomic fluorescence exciting source is studied, and a kind of detection device is developed. A set of application software of the device is developed. The detection wavelength range of the device is 190～350nm, the maximum allowable error is ±0.3nm. It achieved fast detection function of the excitation light source impurity. Detection device and software are verified by the experiments.
Key words ：
metrology
non-dispersive atomic fluorescence
excitation light source impurity
detection device
hollow-cathode lamp
收稿日期: 2015-08-24
发布日期: 2017-06-16
基金资助: 国家科技部支撑计划项目（2014BAK02B00）; 质检总局公益行业科研专项（201010072）
通讯作者:
贾亚青
E-mail: jiayq76@126.com
作者简介 : 贾亚青(1975-),女,河北保定人,北京市计量检测科学研究院高级工程师,博士,主要从事光学技术的研究。Jiayq@bjjl.cn
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