自适应系统在单频激光干涉仪上的应用研究
黄雷1 ,马宏1 ,马钟焕2 ,尹子2
1.长春理工大学, 吉林 长春 130022
Application Research of Self-adaptation System on Single-frequency Laser Interferometer
HUANG Lei1 ,MA Hong1 ,MA Zhong-huan2 ,YIN Zi2
1.Changchun University of Science and Technology, Changchun, Jilin 130022, China
摘要 通过对单频激光干涉仪焦平面上等倾干涉条纹的能量分析和环境因素带来的随机噪声分析,研制一种自适应系统。该系统采用了四阶累积量计算法、信号滤波和信号直流分量提取算法。实验结果表明,可有效处理噪声信号,提取信号直流分量,从而提高直流分量跟踪精度。将该系统安装在单频激光干涉仪上,在非实验室环境条件下其线性测长准确度可达0.9×10-6 L,测量重复性为0.09 μm。
关键词 ：
计量学 ,
自适应 ,
单频激光干涉仪 ,
直流分量 ,
等倾干涉条纹能量
Abstract ：To analyze the equal inclination fringe on focal plane in single-frequency laser interferometer and random noise of environmental factors, a self-adaptation system was developed.The fourth-order cumulant method,signal filtering method and direct current component distilling method are adopted.The experimental results show that, the noise of the signal can be disposed by this system,so the direct current component can be distilled.Accordingly, high-precision tracking to the direct current component is achieved.By installing the self-adaptation system on single-frequency laser interferometer in operation environment,its linear measuring accuracy achieves 0.9×10-6 L, and measurement reproducibility is 0.09 μm.
Key words ：
Metrology
Self-adaptation
Single-Frequency laser
Direct current component
Equal inclination fringe
基金资助: 吉林省质量技术监督局立项项目
作者简介 : 黄雷（1982-）,男,吉林长春人,长春理工大学博士生,吉林省计量科学研究院工程师,主要从事几何量计量技术的研究工作。huanglei_mail@yahoo.com.cn
引用本文:
黄雷,马宏,马钟焕,尹子. 自适应系统在单频激光干涉仪上的应用研究[J]. 计量学报, 2012, 33(5): 395-399.
链接本文:
http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/10.3969/j.issn.1000-1158.2012.05.03 或 http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/Y2012/V33/I5/395
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2012, Vol. 33 
