基于表面形貌测量仪的小尺寸零件直线度测量方法

doi:10.3969/j.issn.1000-1158.2014.z1.017

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摘要以小尺寸零件的直线度测量为主要研究对象,采用Mahr公司最新推出的高精度表面形貌测量仪MarSurf LD 260其自带软件的直线度测量功能可实现对钨片的直线度测量,并与常规测量方法采用计算En值的方式进行比对,比对结果E_n=0.40,表明该测量方法切实可行,且使用简便、精度高。

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	唐冬梅
	曾燕华
	傅云霞
	张波

关键词 ：计量学, 直线度, 表面形貌测量仪, 小尺寸零件

Abstract：Small parts are the main objects of straightness measurement study.Mahr's latest high-precision surface contour measuring instrument, MarSurf LD 260, is used to measure straightness of tungsten film. The measurement result is compared with that of the conventional method. The En value calculation method is used to evaluate the comparison result and the comparison result is E_n =0.40 which shows the measurement method is with high accuracy and it is feasible and easy to use.

Key words： Metrology Straightness Surface contour measuring instrument Small parts

作者简介: 唐冬梅（1986）,女,上海市人,上海市计量测试技术研究院助理工程师,硕士,主要从事几何量测量研究。tangdm@simt.com.cn

引用本文:

唐冬梅,曾燕华,傅云霞,张波. 基于表面形貌测量仪的小尺寸零件直线度测量方法[J]. 计量学报, 2014, 35(z1): 76-78.
TANG Dong-mei,ZENG Yan-hua,FU Yun-xia,ZHANG Bo. Small Parts Straightness Measurement Based on Surface Contour Measuring Instrument. Acta Metrologica Sinica, 2014, 35(z1): 76-78.

链接本文:

http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/10.3969/j.issn.1000-1158.2014.z1.017 或 http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/Y2014/V35/Iz1/76