一种应用于激光干涉仪的等比例偏移定量准直装置
刘红光,路瑞军,李青,李凌梅,李元耀,陈洁
天津市计量监督检测科学研究院, 天津 300192
Equal Proportion Offset Quantitative Collimator in Application of Laser Interferometer
LIU Hong-guang,LU Rui-jun,LI Qing,LI Ling-mei,LI Yuan-yao,CHEN Jie
Tianjin Institute of Metrological Supervision and Testing, Tianjin 300192, China
摘要 设计一种用于激光干涉仪的等比例偏移定量调整的准直装置,利用该装置可以方便快捷、精准定量、一次性实现光路准直。实验表明:对于校准坐标测量机单轴6 m的定位误差,利用该装置调整准直光路的方法只需要调整一次,所用时间小于2 min。
关键词 ：
计量学 ,
激光干涉仪 ,
等比例偏移 ,
定量准直装置
Abstract ：An equal proportion offset quantitative collimator in application of the laser interferometer is designed.The inspectors can conveniently and quickly and precisely measure the light path and adjust the light path at one time. Taking a 6m CMM positioning error as an example, the method of collimating the light path based on the quantitative adjustment of the proportional offset only needs to be adjusted once and spend time is less than 2 min.
Key words ：
metrology
laser interferometer
equal proportional offset
quatitative collimator
收稿日期: 2017-12-20
发布日期: 2018-11-06
通讯作者:
刘红光
E-mail: lhgredlight@sina.com
作者简介 : 刘红光（1986-）,男,河北衡水人,天津市计量监督检测科学研究院工程师,硕士,主要从事几何量检测技术与仪器的研究。lhgredlight@sina.com
引用本文:
刘红光,路瑞军,李青,李凌梅,李元耀,陈洁. 一种应用于激光干涉仪的等比例偏移定量准直装置[J]. 计量学报, 2018, 39(6): 801-803.
链接本文:
http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/10.3969/j.issn.1000-1158.2018.06.09 或 http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/Y2018/V39/I6/801
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