激光衍射测角仪
邵宏伟1 ,李平1 ,来展1 ,崔建军1,2
1.中国计量科学研究院, 北京 100029;
Laser Diffraction Angle Measuring Instrument
SHAO Hong-wei1 ,LI Ping1 ,LAI Zhan1 ,CUI Jian-jun1,2
1. National Institute of Metrology, Beijing 100029, China;
摘要 介绍了激光衍射测角仪的测量方法, 与传统的光学编码测角仪、光学分度测角仪、光栅测角仪等相比, 具有分辨率和精度更高等优点, 特别是分辨率比同分度盘直径的传统测角仪(光栅测角仪)提高20倍以上。激光衍射的应用将对提高测角水平和伺服控制技术有重要的意义。
关键词 ：
计量学 ,
角度测量 ,
激光衍射 ,
分辨率 ,
精度
Abstract ：A new method of laser diffraction for measuring the angle is introduced. The sensitively and precision of the laser diffraction angle measuring instrument is much better than light rotary encoder angle measuring instrument, light dividing angle measuring instrument and light grating angle measuring instrument. Especially the resolution of the laser diffraction measuring angle instrument is improved over 20 times.
Key words ：
Metrology
Angle measurement
Laser diffraction
Sensitive
Uncertainty
作者简介 : 邵宏伟(1959-),男, 浙江省余姚人,中国计量科学研究院研究员,主要从事几何量精密测量和纳米计量技术研究。shaohw@nim.ac.cn
引用本文:
邵宏伟,李平,来展,崔建军. 激光衍射测角仪[J]. 计量学报, 2014, 35(z1): 113-115.
链接本文:
http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/10.3969/j.issn.1000-1158.2014.z1.026 或 http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/Y2014/V35/Iz1/113
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