二维光学标准器校准影像测量仪方法研究
孙双花,薛梓,王鹤岩
中国计量科学研究院, 北京 100029
Image Measuring Instrument Calibration with Two-dimensional Optical Standard
SUN Shuang-hua,XUE Zi,WANG He-yan
National Institute of Metrology, Beijing 100029, China
摘要 依据JJF1318—2011影像测量仪校准规范,分析了影像测量仪的校准项目及校准方法。介绍了影像测量仪的量值溯源体系;设计多种规格的二维光学标准器用于影像测量仪多项参数的校准,并详细介绍了校准过程。用二维掩膜板对影像测量仪尺寸测量误差进行实验校准,分析了测量数据并对校准结果进行测量不确定度评定。
关键词 ：
计量学 ,
二维光学标准器 ,
探测误差 ,
尺寸测量误差 ,
掩膜板 ,
测量不确定度
Abstract ：According to JJF1318-2011 Calibration Specification for Imaging Probe Measuring Machines, the image measuring instrument calibration parameters and calibration method is analyzed. The traceability system of the image measuring instrument is introduced. A variety of specifications of the two-dimensional optical standard are designed, and the calibration procedures are expounded in detail. Length measurement error is tested by two-dimensional grid photomask and measurement data is analyzed. The measurement uncertainty is evaluated carefully, including its sources and values.
Key words ：
Metrology
Two-dimensional optical standard
Probing error
Length measurement error
Photomask
Measurement uncertainty
基金资助: 国家自然科学基金(51305416)
作者简介 : 孙双花（1980-）,女,黑龙江青冈人,中国计量科学研究院副研究员,博士,主要从事几何量计量、线纹计量的研究。sunshh@nim.ac.cn
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