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文章快速检索     高级检索 2024年 45卷 3期 刊出日期：2024-03-28 几何量计量        几何量计量 305 2-10 μm台阶高度标准物质候选物的研制和质量评价 柳迪 王琛英 张雅馨 王云祥 王松 陈伦涛 王永录 朱楠 蒋庄德 微米台阶高度标准物质用于校准仪器z轴性能，传递准确的微米高度量值。相比于国外，国内对微米台阶高度标准物质的制备和不同仪器及评定方法的测量比对缺乏一体化研究。利用光刻结合干法刻蚀工艺实现公称高度为2-10 μm台阶高度标准物质候选物的制备，并对台阶高度、粗糙度和上下表面平行度进行表征。使用激光共聚焦显微镜和非球面测量仪进行测量，基于双边算法、直方图法、国际标准化组织（ISO）算法和光学显微解耦合准则（LEL）法对台阶高度进行评定，对于同一标准物质候选物各评定方法间的标准差均不超过0.024 μm，而且台阶高度评定值的相对偏差均在5%以内。这表明采用不同算法得到的评定结果一致性水平较高且量值可靠。根据不同仪器的评定结果对比说明了评定方法之间也具有良好的一致性。同时，粗糙度不超过0.04 μm，上下表面平行度不超过0.03°，验证了标准物质候选物制备效果好。 2024 Vol. 45 (3): 305-310 [摘要] ( 58 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 4 ) 311 用于引力波探测的星间激光干涉测量模拟系统 穆衡霖 李岩 星间激光干涉仪具有比地面干涉仪更长的干涉臂（106 km），能够探测更低频段（0.1 mHz – 1 Hz）的引力波，在天文学研究中具有重要意义。星间激光干涉仪具有典型的应答式外差干涉仪结构，其本质是一个光学锁相环。在本工作中，在地面环境下搭建模拟的星间激光干涉仪，成功将从激光器的频率锁定到稳频的主激光器频率上。结果显示锁相环的锁定时间超过20000 s，满足了低频信号的探测条件。在较短位移和较长位移的不同条件下，干涉仪无粗大误差。经分析，温度、气压等环境扰动带来的噪声是制约干涉仪精度的关键因素。 2024 Vol. 45 (3): 311-317 [摘要] ( 42 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 4 ) 318 一种新的大行程垂直纳米运动工作台设计与控制研究 张帆 黄强先 程荣俊 张连生 李红莉 李瑞君 目前激光定位校准、白光干涉扫描及焊线机邦头运动等微电子制造领域中急需开展新型垂直运动工作台、大行程和高精度垂直驱动与控制等技术的研究。在大行程高精度垂直运动中，工作台的设计及稳定控制是关键因素。因此设计一种新型的具有平衡机构的工作台，以实现垂直方向上大行程纳米稳定运动。所研究工作台采用N331压电直线电机独立驱动，通过空气静态导轨悬浮，设计Z轴平衡系统降低垂直向电机驱动负载。利用步进控制方式完成大行程驱动，模拟方式实现微位移精密驱动控制。所提出的驱动与控制策略，可实现100 mm垂直方向上高精度快速精密驱动。另Z向也可实现纳米步进模式与模拟模式的复合控制。在全行程100 mm的范围内定位波动可限制在±9 nm内。通过目前一系列的验证实验，本运动工作台可适用于微纳米三坐标测量机、微光刻和微加工应用的驱动与控制任务。 2024 Vol. 45 (3): 318-324 [摘要] ( 21 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 4 ) 325 触针式表面形貌测量仪探针几何特性引起的失真机理与识别方法 王康 皮磊 张树 张诗涵 施玉书 触针式表面形貌测量仪广泛应用于表面粗糙度、几何形状和波纹度等参数的测量，但探针与被测表面交互时所产生的卷积效应会导致测量结果的失真。通过分析探针几何特性引起的失真机理，将失真按其特性分为典型失真和复杂失真。针对探针球形针尖和锥角复合效应引起的失真现象，提出了一种复杂失真的多模态识别方法。实验结果表明：相较于形貌测量仪单模态识别典型失真的限制，该方法可以有效识别形貌测量结果中的复杂失真，同时对测量结果提供可信度解释，为测量结果中失真数据的准确识别和还原提供新的思路。 2024 Vol. 45 (3): 325-331 [摘要] ( 14 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 4 ) 332 基于贝叶斯动态模型的激光干涉仪漂移误差预测 刘丽颖 程真英 陈旭 李瑞君 针对长时间测量时激光干涉仪产生的漂移问题，提出了一种基于贝叶斯动态模型的漂移误差预测方法。通过采集非测量阶段的漂移误差序列，分析了数据特征并据此建立了贝叶斯动态模型。然后，利用无信息先验分布法获取了递推所需的初始信息，运用贝叶斯递推算法训练并估计了模型状态参数。最后，基于实验室自制的迈克尔逊激光干涉仪对漂移误差预测效果进行了实验验证。结果表明：与常用的最小二乘拟合法和神经网络建模法相比，基于该方法预测补偿后的残余漂移误差的均方差分别减小了67.85%和99.08%；由重复实验的预测效果可知，残余漂移误差的均方差较补偿前都减小了82%以上。验证了提出的基于贝叶斯动态模型的漂移误差预测方法的有效性和稳健性。 2024 Vol. 45 (3): 332-339 [摘要] ( 21 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 4 ) 340 一种小型激光跟踪测量系统的研制 顾超伟 缪东晶 严利平 刘洋 李建双 摘要：为实现大尺寸范围内的坐标跟踪测量，研制了一种体积小、重量轻的小型激光跟踪测量系统。分析了系统的跟踪测量原理；设计了光机电一体化的机械结构；设计了光学模块，优化了基于位置敏感探测器的目标偏差量采集部分的光路，进行了位置敏感探测器的标定实验，得出了位置敏感探测器的线性区间与偏差比例系数；完成了跟踪控制模块的设计与三维可视化测量软件的开发。实验结果表明，系统的跟踪稳定性与位移分辨力分别为 20μm 和 40μm ，系统的跟踪速度最高可达480/(mm·s-1)、加速度最高可达506/(mm·s-2)、跟踪距离范围不小于70m、具有三维坐标测量与三维可视化功能，同时与现有跟踪仪相比具有体积上、重量上以及测角范围上的优势，具有良好的跟踪性能与应用前景。 2024 Vol. 45 (3): 340-348 [摘要] ( 21 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 5 ) 349 基于激光干涉仪同步测量的动态校准装置 任瑜 胡晓磊 郭志敏 傅云霞 张丰 为满足时变几何量的瞬时动态测试需求，研制了一种基于激光干涉仪同步测量的动态校准装置。该装置以直线运动导轨为运动发生器，以激光干涉仪为长度标准器，以基于GNSS驯服时钟的同步触发器实现同步测量并确保时间准确稳定，以动态校准软件实现控制一体化。经综合分析激光干涉仪的最大允许误差、直线运动导轨的直线度、环境因素、触发信号间时延及激光干涉仪测量时延等因素，该装置的长度示值的测量不确定度为Q[1.8μm，3×10-7L]（k=2）。与同型号激光干涉仪的比对实验和激光跟踪仪瞬时长度测试实验，分别证明了不确定度评定的合理性以及该装置在瞬时动态精度测试中的可行性。 2024 Vol. 45 (3): 349-355 [摘要] ( 19 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 4 ) 356 AFM-TM微悬臂梁系统混沌运动及控制算法分析 宋佩颉 褚衍东 俞睿 张航 轻敲式原子力显微镜微(atomic force microscope in tapping mode , AFM-TM)悬臂梁系统的混沌运动会严重影响到AFM-TM的测量精度，发现并控制系统的混沌运动是近年来AFM-TM研究的重点。本文首先通过数值仿真，综合利用Lyapuov指数、分岔图、Poincaré截面和相位图分析了外部激励幅值变化时，AFM-TM微悬臂梁系统运动特性的演化，然后提出了延时反馈控制和模糊自适应延时反馈，用于控制系统的混沌运动，最后对两种控制算法进行了比较。研究结果表面，当无量纲外部激励幅值在[0.65,0.85]等取值区间内取值时，系统表现出明显的混沌运动特性；延时反馈控制和模糊自适应延时反馈控制均能有效的将系统的混沌运动拉回到周期轨道，但模糊自适应延时反馈更适用于AFM-TM被测样品变化的复杂情况。研究结果对AFM-TM微悬臂梁外部激励参数选择，非线性系统复杂动力学特性分析和混沌运动控制提供了有意义的理论参考。 2024 Vol. 45 (3): 356-363 [摘要] ( 32 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 4 ) 364 基于改进ArUco标签的位姿估计方法 段志瑜 罗哉 江文松 杨力 李亚茹 针对使用ArUco标签在远距离测量精度不高的问题，提出改进ArUco标签的位姿估计方法。首先，该方法在ArUco标签的基础上设计了阵列特征圆环，基于交比不变判断圆心检测的准确性；其次，采用加权最小二乘法建立ArUco标签角点与阵列圆环圆心之间的直线拟合关系，实现角点修正；最后，采用EPnP+LM算法进行位姿估计。设计了机械臂视觉定位系统验证本文方法的有效性，实验结果表明，本文方法在2.5-4m测量范围内的最大平移误差为8.72mm，最大旋转误差为1.78°，传统方法的最大平移误差为36.42mm，最大旋转误差为4.65°，说明本文方法在位姿测量精度方面优于传统方法。 2024 Vol. 45 (3): 364-371 [摘要] ( 24 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 4 ) 372 标准钢卷尺计量比对关键技术研究 蒋远林 李建双 康瑶 李连福 标准钢卷尺是线纹计量器具检定系统中的三等线纹标准，用于我国大量钢卷尺等带状工作线纹尺的量值传递。为了保障我国标准钢卷尺的量值一致性，科学评估我国计量机构标准钢卷尺的校准能力（CMC），中国计量科学研究院主导组织了首次全国标准钢卷尺计量比对（项目编号2019-B-05）。文章介绍了比对的基本情况、方案及比对结果,分析了比对结果及参比装置，研究了标准钢卷尺校准中关键技术问题及主要误差来源，提出了解决问题的方法，以推动标准钢卷尺量值校准能力的提升。 2024 Vol. 45 (3): 372-378 [摘要] ( 14 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 4 ) 379 基于对称性评价的曲线对称中心拟合算法 张鑫 刘海波 夏玉国 一维图像（灰度曲线）中的目标探测是机器视觉测量的基础问题，在噪声干扰下，对缺乏形状先验信息的曲线中心位置进行稳健估计存在诸多困难。本文提出一种对称中心拟合算法，以曲线与其镜像的匹配误差作为对称性评价函数，采用最小二乘法计算最佳匹配点作为对称中心。该算法在使用中需要迭代计算，并可能收敛至错误的位置，通过对迭代初始值选取可能产生的局部收敛进行分析，证明了局部极值点仅可能出现在真值相邻的半像素之内，就此提出了收敛点验证策略，解决了错误收敛的问题。通过仿真模拟与实例，验证了该算法在各种干扰下的稳健性。 2024 Vol. 45 (3): 379-385 [摘要] ( 23 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 4 ) 386 全站仪气象改正公式优化研究 刘晓东 缪东晶 姚燕 王德利 李连福 刘洋 蔡晋辉 李建双 为提高全站仪长距离测距精度，提出一种全站仪气象改正公式的优化方法。对气象改正公式进行分析后发现存在一定误差，存在优化的空间。为了降低公式引起的残余误差，以最小化残余误差之和为优化目标，将气象公式系数调整转化为最优化问题。借助野外长基线上部署的密集环境参数传感器阵列，对全站仪长时间连续测距时的环境参数进行实时记录以便调用；利用测距数据构造优化函数，对气象改造公式系数的不同组合进行优化调整和验证，实验数据分析结果表明：经过优化后，测距误差均值可减小99.8%，误差标准差减小81.2%；为验证所提出方法的有效性，将优化系数后的改正公式应用于其他测量时间段的测距补偿。结果显示，残余误差也同样得到有效降低，优化幅度达到37%以上。表明气象改正公式系数优化是显著降低野外测距误差的有效方法。 2024 Vol. 45 (3): 386-394 [摘要] ( 17 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 4 ) 395 换热翅片几何量数字化测量技术研究及在智能制造中的应用 阚侃 熊行创 为解决换热翅片开窗角度的数字化测量问题，研发了面向换热器智能制造产线的翅片几何量参数测量装置。采用激光轮廓传感器进行非接触测量，首先对获取的多组原始轮廓数据进行数据剔除和取均值预处理，将处理后的数据逐点求导以识别兴趣测量区域，在各兴趣测量区域采用定长逐点步进的方式进行最小二乘拟合运算，选取最优拟合线段进行夹角计算，可自动实现对翅片8个开窗角度及3个长度参数的测量，设计了基于JSON的数据交互格式实现与制造执行系统的数据对接。实验结果表明：装置角度测量最大允许误差（MPE）为±0.5°，具备数字化测量及数据交互能力，满足企业智能制造产线现场测量需求，并在企业现场实施应用。 2024 Vol. 45 (3): 395-401 [摘要] ( 29 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 4 ) 402 基于嵌入式系统的表面划痕测量装置的设计与实现 李艳 贾志婷 瞿剑苏 马晓苏 王霁 针对飞机机身蒙皮、座舱玻璃等武器装备零部件表面的划痕深度和宽度现场定量检测的需求，研制了一套基于嵌入式系统的表面划痕测量装置。装置基于光切原理设计，以嵌入式ARM开发板为硬件平台，连接工业相机和显微镜组，采集由投射光路投射出的平行光条经过被测表面调制后的图像，经过图像处理和划痕特征提取，计算划痕的深度和宽度，测量结果可以数字化显示并保存。试验结果表明，装置在（0.005~0.060）mm测量范围内的示值误差不超过±2.0μm，在（0.060~2.000）mm的测量范围内的相对示值误差小于±4%。测量装置具备小型化、一体化、高精度、快速、易操作等特点，适用于在现场环境中对飞机机身各处的划痕进行直接测量。 2024 Vol. 45 (3): 402-411 [摘要] ( 11 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 4 ) 412 光谱共焦传感器多参数高精度校准 杨品澒 唐波 崔建军 陈恺 宋佩颉 彭璐 针对高精度光谱共焦传感器缺乏相应校准装置及方法的问题，本研究首先分析了光谱共焦传感器的测量原理，提出了一种基于激光干涉测量的校准方法，并研制了相应的校准装置。此外，本研究还提出了一种波长倍数间隔测量法，以减小激光干涉仪非线性误差对测量结果的影响，并设计了基于最小二乘原理的测量点位置修正算法。为了验证所提出的校准方法的可行性，设计了相关的测量实验。实验结果表明，在(0~100) μm的测量范围内，示值误差为±0.04%FS，重复性为0.01%FS，线性度为0.03%FS，示值误差测量结果的扩展不确定度U=10 nm (k = 2)。而构建的校准装置在(0~52)mm的测量范围内的示值误差测量结果不确定度为U=2 nm+2×10-7L(k = 2)。本研究内容和结果对于解决高精度光谱共焦传感器的溯源难题具有重要意义，同时还为其他类似校准装置的研发提供了重要的参考价值。 2024 Vol. 45 (3): 412-418 [摘要] ( 17 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 4 ) 419 基于曲面拟合的光学偏折系统显示屏标定方法 郭创为 管钰晴 刘丽琴 徐瑞书 沈瑶琼 朱言瑧 雷李华 张玉杰 傅云霞 透射式光学偏折术是近年来光学测量领域的热门测量方法，透射式光学偏折系统的标定精度决定了系统最终的测量精度，针对系统中最关键的标定环节，提出使用曲面拟合方式拟合显示屏幕面形分布。建立基于透射式光学偏折术的波前检测仿真模型，分析两种不同的显示屏面形拟合方法对波前测量的影响。仿真结果显示曲面屏幕模型中波前像差RMS值仅为0.0596μm，平面屏幕模型波前像差RMS值高达0.8375μm。搭建透射式光学偏折系统对球面透镜进行波前测量，曲面屏幕模型中波前像差RMS值为0.1371μm，平面屏幕模型中波前像差RMS值为1.4326μm,实验结果表明使用曲面拟合效果明显优于平面拟合方程，证实了曲面拟合屏幕模型的可行性。 2024 Vol. 45 (3): 419-424 [摘要] ( 22 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 4 ) 425 基于PSD的分离式长导轨直线度测量方法研究 金挺 朱进 陈挺 郭斌 沈斌 孔明 程银宝 王瑛辉 基于PSD的激光准直测量系统可同时测量40m范围内的水平和竖直方向直线度，通过分段拼接测量方法能够将测量范围进一步扩大，相较于传统长导轨直线度测量方法多适用于连续型导轨的直线度测量，激光准直测量系统不仅适用于连续型导轨的直线度测量，也适用于分离式超长导轨的直线度测量。首先在(-5~﹢5)mm的测量范围内，通过激光干涉仪分别测得激光准直测量系统的接收靶在水平和竖直方向上的位移示值误差均优于±(1μm+1%H)，H为示值（单位：mm）。然后在50m超长导轨上，使用激光干涉仪在40m范围内与激光准直测量系统的直线度测量精度进行对比，二者水平方向直线度误差相差0.06mm，竖直方向直线度误差相差0.13mm。最后使用激光准直测量系统对70m分离式超长导轨的直线度进行测量，测得水平方向直线度为0.50mm，竖直方向直线度为0.53mm。使用该方法可迅速定位和调整直线度误差极值点位置，能够有效解决分离式超长导轨的直线度装配调试问题。 2024 Vol. 45 (3): 425-432 [摘要] ( 20 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 4 ) 433 基于激光扫描仪的点云配准方法 褚海漫 程银宝 李亚茹 罗哉 江文松 王燕 针对激光扫描仪实际扫描得到的不完整点云配准困难问题，提出了一种基于对应点对的配准方法。通过激光扫描仪进行实验，得到被测工件的实测点云数据，基于Visual Studio软件配置Point Cloud Library环境，对实测模型与理想模型的点云配准进行研究。首先对实测点云数据进行体素滤波以及均匀下采样的预处理；其次通过对应点对的方式进行对齐为后续精细配准提供较好的变换初值，后基于ICP算法实现点云配准精配准；最终以均方根误差作为点云配准精度评价指标对配准结果进行评价。借助CloudCompare软件对配准结果进行直观展示分析可知，在实测工件本身存在表面粗糙度的情况下，配准的均方根误差可控制在0.6mm，表明该方法对于不完整点云的配准成果较好。 2024 Vol. 45 (3): 433-439 [摘要] ( 15 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 4 ) 440 矿用通风机叶片线激光测量数据优化方法研究 李学哲 申瑶 测量模型的提取是矿用通风机叶片几何变形检测的关键，为了提高叶片测量模型的精度，提出一种基于最小二乘原则的线激光测量数据优化方法。首先利用卡尔曼滤波算法实时处理线激光传感器原始测量数据，提高坐标测量精度，为后续模型构建提供精准数据。然后采用三次多项式法、三次B样条法、高阶贝塞尔法分别拟合求解三个测量模型，并基于最小二乘原则评价各模型的显著性水平，从而优选出适合通风机叶片几何特征的测量模型。最后进行了实验研究，结果表明，采用三次B样条函数构建叶片测量模型可以获得最佳的拟合效果，其显著性评价因子最小（小于0.05），本方法通过数据优化有效提高了叶片测量模型的精度，为后续通风机叶片几何评价奠定了良好基础。 2024 Vol. 45 (3): 440-446 [摘要] ( 15 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 3 ) 447 地铁监测测量机器人在线计量方法研究 马娟娟 张鑫 郭若成 胡俊杰 地铁安全监测作为当前国家生命线重要工程，其监测结果的准确性至关重要。测量机器人作为地铁监测的主流设备，其量值溯源存在较大困难，急需建立一套可行的校准方案。本文结合测量机器人实际应用，提出了一种在线计量校准方法，确立了ATR测角分辨力、测距分辨力、空间距离测量误差3个关键技术指标，以分辨力检验台和长度标尺配合球棱镜为标准装置，研究确定具体的校准方法，并对测量不确定度进行评定，最后通过模拟实验和对武汉地铁监测4台设备进行在线校准，准确反映出了不同设备的技术性能，验证了方法的可行性和有效性。本方法也为所有测量器人的ATR功能校准提供了参考依据。 2024 Vol. 45 (3): 447-454 [摘要] ( 23 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 5 ) 455 圆锥体全局角度尺寸评定方法 赵新宇 赵则祥 李彬 任东旭 席建普 提出了基于圆周轮廓提取方案的圆锥全局角度尺寸的评定方法，建立了圆锥最小二乘全局角度尺寸和最大最小全局角度尺寸的评定模型。基于所建立的评定模型，给出了圆锥全局角度尺寸评定的飞蛾扑火优化算法（MFO）的流程图，并编制了圆锥全局角度尺寸评定及最小二乘圆锥面、最大最小圆锥面可视化程序。采用所编制的程序，对四个圆锥仿真试样S-1、S-2、S-3和S-4进行了最小二乘全局角度尺寸和最大最小全局角度尺寸评定，对其不同评定方法、不同优化初始参数和不同优化方法得到的全局评定结果进行了比较。评定结果表明， S-1、S-2和S-3试样用两种最小二乘法（线性和非线性）评定得到的结果基本相同，但S-4得到的结果不相同，两种最小二乘法的优化特征值之差和全局角度尺寸之差分别为4e-8mm2和0.999”；将两种最小二乘圆锥面参数分别作为每个试样的MFO优化初始参数，四个试样的两次评定结果（包括优化特征值和最大最小全局角度尺寸）均不相同，表明MFO的评定结果并不是全局最优，优化初始值对评定结果有一定的影响。用乌鸦搜索算法、人工生态优化算法、平衡优化器算法和粒子群优化算法对S-4的最大最小全局角度尺寸进行了评定，并与MFO的评定结果进行了比较。除了优化初始值对评定结果有影响外，搜索区间、种群数和最大迭代次数对评定结果均有影响，但其规律性不强。总体上讲，MFO的评定结果优于其他四种优化方法的评定结果。 2024 Vol. 45 (3): 455-464 [摘要] ( 24 ) HTML (1 KB)  PDF  (0 KB)  ( 4 )

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