改进遗传算法在CMP终点检测的应用
郑永军,狄韦宇,罗哉
Application of Improved Genetic Algorithm in CMP Endpoint Detection
ZHENG Yong-jun,DI Wei-yu,LUO Zai
计量学报 . 2020, (10): 1192 -1198 .  DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2020.10.03

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