%A 张华坤,高思田,李伟 %T 原子力显微镜的双探针接触测量研究 %0 Journal Article %D 2016 %J 计量学报 %R 10.3969/j.issn.1000-1158.2016.01.01 %P 1-5 %V 37 %N 1 %U {http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/abstract/article_617.shtml} %8 2016-01-22 %X 为实现双探针原子力显微镜的探针对准,用探针A对探针B的成像进行了深入的研究。首先对音叉探针进行有限元仿真,分析探针的机械特性。其次用锁相放大器获取探针的幅度和频率信号,让探针接近样品(硅片)以获得系统的分辨率。最后在YOZ平面用探针A对探针B扫描成像,逐步缩小扫描范围并同时减小扫描步进。实验表明,探针的分辨率优于1 nm,双探针对准精度可达5 nm。