%A 叶孝佑,高宏堂,孙双花,邹玲丁,沈雪萍,甘晓川,常海涛,张晓 %T 2 m激光干涉测长基准装置 %0 Journal Article %D 2012 %J 计量学报 %R 10.3969/j.issn.1000-1158.2012.03.01 %P 193-197 %V 33 %N 3 %U {http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/abstract/article_513.shtml} %8 2012-05-22 %X 阐述了2 m激光干涉测长基准装置工作原理及系统组成,以线间距测量功能为基础,研究了接触式和非接触式的几何测长对准方法,实现了其测长功能拓展应用。介绍了实现纳米精度测长的技术措施。对称布局的双光电显微镜同步扫描测量接长的方式实现2 m刻线间距测量,信号处理系统具有标准间距位置脉冲发生功能,可以实现位移传感器动态触发校准和其它应用。对于高质量的线纹尺,2 m激光干涉测长基准装置单次测量刻线间距的最佳瞄准精度优于10 nm(1σ),1 m测量范围内的线纹测量不确定度U=(20+40 L) nm (k=2)。