%A 王建波,殷聪,钱进,刘忠有,黄璐,杨雁,陆祖良 %T 计算电容屏蔽电极位移测量的不确定度评估 %0 Journal Article %D 2022 %J 计量学报 %R 10.3969/j.issn.1000-1158.2022.04.01 %P 437-444 %V 43 %N 4 %U {http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/abstract/article_2155.shtml} %8 2022-04-28 %X 计算电容是电学阻抗单位复现的基准装置,是电容、电感和交流电阻的溯源依据。它是电磁计量领域内除量子电压、量子电阻基准之外准确度最高的装置。计算电容装置实现微小电容值(0.2至0.6pF)精确测量的关键在于对其屏蔽电极位移的高准确度测量。从计算电容屏蔽电极位移测量的基本原理出发,系统分析了屏蔽电极位移测量结果的影响因素,具体包含Fabry-Perot干涉仪的锁定、稳频激光波长的实时校准、残余气体折射率影响、测量余弦误差以及Gouy相位修正,结合计算电容测量结果的复现性,得到屏蔽电极位移测量的相对标准不确定度为4.7×10-9