%A 樊宏伟,刁晓飞,张福民,薛梓,董欣媛,铁咪咪 %T 基于CORDIC算法的单频激光干涉信号处理系统半波长误差分析与消除 %0 Journal Article %D 2021 %J 计量学报 %R 10.3969/j.issn.1000-1158.2021.03.05 %P 287-293 %V 42 %N 3 %U {http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/abstract/article_1841.shtml} %8 2021-03-28 %X 为了满足纳米级分辨率和高速处理,设计了基于CORDIC算法的激光干涉信号处理系统。研究发现信号处理系统存在半波长大小的粗大误差。对该半波长误差的特点与形成机理进行了研究,研究表明该半波长误差的根源为小数相位测量存在一定的误差区间,在干涉信号相位零点附近,该误差区间导致小数相位处于[2π-,0+],具有不确定性;与整数相位结合时,可能产生半波长误差。在对半波长误差深入研究的基础上,给出修正表,提出了基于CORDIC算法相位补偿技术,以消除半波长粗大误差对激光干涉测量系统的影响。实验结果表明:在信号处理系统中,该相位补偿技术能够有效地消除半波长粗大误差,由CORDIC算法引入的总量化误差小于±0.05nm。