%A 魏小华,郑凌晨 %T 电磁辅助压电致动器设计开发与性能测试研究 %0 Journal Article %D 2020 %J 计量学报 %R 10.3969/j.issn.1000-1158.2020.07.15 %P 857-863 %V 41 %N 7 %U {http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/abstract/article_1690.shtml} %8 2020-07-28 %X 传统的压电致动器,受限于压电致动的小行程,通常只能测量较小的范围。研发了一种电磁辅助压电致动器,同时具备电磁式致动器长行程与压电式致动器高分辨率的特点,该致动器包含可动件、导引槽、挠性件、电磁铁、压电元件以及控制电路。首先调整挠性可调预压装置并设定电磁铁电流,使得电磁致动力处于最大静摩擦力与动摩擦力之间;再利用压电组件所产生的微震动,控制可动件与导引槽之间的接触情况在静摩擦与动摩擦之间切换,从而完成长行程(10mm)且高分辨率(1.5μm)的往复运动。实验结果表明该致动器具备出色的定位能力。