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计量学报  2013, Vol. 34 Issue (5): 401-405    DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2013.05.01
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微纳米测量机测头结构的参数设计及分析
陈贺, 陈晓怀, 王珊, 杨桥, 李瑞君
合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院, 安徽 合肥 230009
The Parameters Design and Analysis of Micro-nano CMM Probe
CHEN He, CHEN Xiao-huai, WANG Shan, YANG Qiao, LI Rui-jun
School of Instrument Science and Opto-electronic Engineering, Hefei University of Technology,Hefei, Anhui 230009, China
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