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计量学报  2014, Vol. 35 Issue (z1): 90-94    DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2015.z1.021
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一种集成电路关键尺寸的测量方法
杨德志1,2,孙双花2,郭天太1
1.中国计量学院, 浙江 杭州 310018;
2.中国计量科学研究院, 北京 100029
An Approach Probing Strategy of Integrated Circuit Critical Dimension Measurement
YANG De-zhi1,2,SUN Shuang-hua2;GUO tian-tai1
1. China Jiliang University,Zhejiang, Hangzhou 310018,China;
2.National Institute of Metrology ,Beijing 100029,China
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