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计量学报  2023, Vol. 44 Issue (8): 1159-1162    DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2023.08.01
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电感型光学超导转变边沿探测器件光学谐振腔设计
王振宇1,钟青2,曾九孙1,李劲劲2,徐骁龙2,王雪深2
1. 中国计量大学 计量测试工程学院, 浙江 杭州 310018 
2. 中国计量科学研究院, 北京 102200
Design of Optical Resonant Cavities for Inductive Type Optical Superconducting Transition Edge Detector Devices
WANG Zhen-yu1,ZHONG Qing2,ZENG Jiu-sun1,LI Jin-jin2,XU Xiao-long2,WANG Xue-shen2
1. College of Metrology and Measurement Engineering , China Jiliang University, Hangzhou, Zhejiang 310018, China
2. National Institute of Metrology, Beijing 102200, China
全文: PDF (398 KB)   HTML (1 KB) 
输出: BibTeX | EndNote (RIS)      
摘要 为提高电感型光学超导转变边沿探测器件的探测效率,针对波长633nm的光子,厚度15nm的铌(Nb)膜光子吸收层,设计了一种基于Al全反射层、SiO2和SiNx减反层的谐振腔结构。通过仿真,选取低反射率参数分布区间,利用终点探测曲线作为谐振腔性能的判断依据,通过磁控溅射工艺和化学气相沉积工艺制备了谐振腔,并使用分光光度计测试了反射率,结果表明:制备的谐振腔可将633nm光波反射率降低至0.9%,并对506~690nm宽波段光也有良好的减反效果(反射率<1%)。
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王振宇
钟青
曾九孙
李劲劲
徐骁龙
王雪深
关键词 计量学;超导转变边沿超导Nb膜反射率光学谐振腔;化学气相沉积;磁控溅射    
Abstract:To improve the detection efficiency of the inductive optical superconducting transition edge detector devices, a resonant cavity structure based on an Al total reflection layer, SiO2 and SiNx anti-reflection layer is designed and fabricated on a 15nm niobium (Nb) film photon absorber layer for the 633nm wavelength. The reflectivity is simulated with the Concise Macleod software and the layer structure of the resonant cavity for the lowest reflectivity is selected. The resonant cavity is prepared by a magnetron sputtering process and a following chemical vapor deposition process with an end point detection. The reflectivity is characterized by a spectrophotometer, which shows that the prepared resonant cavity can reduce the reflectivity at 633nm to be only 0.9%, and also has good anti reflection effect, the reflectivity for from 506nm to 690nm to be <1%.
Key wordsmetrology    superconducting transition edge    superconducting Nb film    reflectivity    optical resonant cavity;chemical vapor deposition    magnetron sputtering
收稿日期: 2022-12-13      发布日期: 2023-08-22
PACS:  TB96  
基金资助:国家自然科学基金(61901432)
通讯作者: 王雪深(1984-),男,山东潍坊人,中国计量科学研究院副研究员,主要从事量子计量器件方面的研究。Email:wangxs@nim.ac.cn     E-mail: wangxs@nim.ac.cn
作者简介: 王振宇(1997-),男,浙江绍兴人,中国计量大学在读硕士研究生,研究方向为量子计量器件。Email:p20020854084@cjlu.edu.cn
引用本文:   
王振宇,钟青,曾九孙,李劲劲,徐骁龙,王雪深. 电感型光学超导转变边沿探测器件光学谐振腔设计[J]. 计量学报, 2023, 44(8): 1159-1162.
WANG Zhen-yu,ZHONG Qing,ZENG Jiu-sun,LI Jin-jin,XU Xiao-long,WANG Xue-shen. Design of Optical Resonant Cavities for Inductive Type Optical Superconducting Transition Edge Detector Devices. Acta Metrologica Sinica, 2023, 44(8): 1159-1162.
链接本文:  
http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/10.3969/j.issn.1000-1158.2023.08.01     或     http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/Y2023/V44/I8/1159
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