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计量学报  2022, Vol. 43 Issue (8): 979-983    DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2022.08.02
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在片校准件参数定值方法
霍晔,吴爱华,王一帮,栾鹏,刘晨,梁法国,孙静,张立飞
中国电子科技集团公司 第十三研究所,河北 石家庄 050051
Method for Definition Parameters of On-Wafer Calibration Standards
HUO Ye,WU Ai-hua,WANG Yi-bang,LUAN Peng,LIU Chen,LIANG Fa-guo,SUN Jing,ZHAGN Li-fei
The 13th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation, Shijiazhuang, Hebei 050051, China
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