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计量学报  2022, Vol. 43 Issue (3): 299-305    DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2022.03.02
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无源器件在片散射参数校准比较方法研究
霍晔1,吴爱华1,王一帮1,栾鹏1,刘晨1,梁法国1,孙静1,张立飞1,胡海龙2
1.中国电子科技集团公司第十三研究所,河北 石家庄 050051
2.中国西安卫星测控中心,陕西 西安 710043
Research for Calibration Comparison Method of Passive Deviceson-wafer Scattering Parameters
HUO Ye1,WU Ai-hua1,WANG Yi-bang1,LUAN Peng1,LIU Chen1,LIANG Fa-guo1,SUN Jing1,ZHANG Li-fei1,HU Hai-long2
1. The 13th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation, Shijiazhuang, Hebei 050051, China
2. China Xian Satellite Control Center, Xian, Shanxi 710043, China
全文: PDF (1364 KB)   HTML (1 KB) 
输出: BibTeX | EndNote (RIS)      
摘要 为解决由于不同校准方法导致无源器件在片散射参数测试结果存在偏差的问题,通过以校准准确度高的多线TRL校准方法为参考基准,比较SOLT、LRRM校准方法与其误差项的差异。充分考虑了两个端口误差项的级联关系,推导得到误差项差异的数学模型,通过参数转换计算得到无源器件在片散射参数的最大偏差。在100MHz~67GHz频段范围内进行了试验分析, 与国外校准比较方法对比,相同校准方法的4个散射参数线性幅值偏差≤0.01。研究结果表明:该方法能够判断无源器件的在片散射参数测试结果是否真实有效,指导测试时选择合适的校准方法。
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霍晔
吴爱华
王一帮
栾鹏
刘晨
梁法国
孙静
张立飞
胡海龙
关键词 计量学在片散射参数校准比较方法误差项数学模型最大偏差    
Abstract:In order to solve the problem of deviation in the measurement results of on-wafer scattering parameters of passive devices due to different calibration methods, by taking the multi-line TRL calibration method with high accuracy as the reference benchmark, the differences between SOLT and LRRM calibration methods error terms are compared. The cascading relation of two port error terms is fully considered, the mathematical model of error term difference is derived, and the maximum deviation on-wafer scattering parameters of the passive devices are calculated by parameter conversion. The experimental analysis is carried out in the frequency range of 100MHz~67GHz. Compared with foreign calibration comparison methods, the linear amplitude deviation of the four scattering parameters of the same calibration method is ≤0.01. The research results show that the mentioned method can judge whether the test results of on-chip scattering parameters of passive devices are real and effective, and guide the selection of appropriate calibration methods during the test.
Key wordsmetrology    on-wafer scattering parameters    calibration comparison method    error terms    mathematical model    maximum deviation
收稿日期: 2021-07-06      发布日期: 2022-03-23
PACS:  TB973  
基金资助:河北省省级科技计划(206Z0201G);国家国防科技工业局技术基础(JSJL2019210B005)
作者简介: 霍晔(1989-),男,河北保定人,中国电子科技集团公司第十三研究所助理工程师,从事无线电计量测试研究工作。Email: huoye@cetc13.cn
引用本文:   
霍晔,吴爱华,王一帮,栾鹏,刘晨,梁法国,孙静,张立飞,胡海龙. 无源器件在片散射参数校准比较方法研究[J]. 计量学报, 2022, 43(3): 299-305.
HUO Ye,WU Ai-hua,WANG Yi-bang,LUAN Peng,LIU Chen,LIANG Fa-guo,SUN Jing,ZHANG Li-fei,HU Hai-long. Research for Calibration Comparison Method of Passive Deviceson-wafer Scattering Parameters. Acta Metrologica Sinica, 2022, 43(3): 299-305.
链接本文:  
http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/10.3969/j.issn.1000-1158.2022.03.02     或     http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/Y2022/V43/I3/299
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