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计量学报  2021, Vol. 42 Issue (8): 977-985    DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2021.08.01
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高线性度的二维无耦合纳米压电位移系统设计
罗四维1,乐燕芬1,彭洋1,吴俊杰2,雷李华2,张波2,金涛1
1.上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海 200093
2.上海计量测试技术研究院,上海 201203
Design of a High Linearity Two-Dimensional Uncoupled Nanometer Piezoelectric Displacement System
LUO Si-wei1,LE Yan-fen1,PENG Yang1,WU Jun-jie2,LEI Li-hua2,ZHANG Bo2,JIN Tao1
1. School of Optical-Electrical and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology, Shanghai 200093, China
2. Shanghai Institute of Measurement and Testing Technology, Shanghai 201203, China
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