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计量学报  2020, Vol. 41 Issue (7): 789-795    DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2020.07.04
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AFM轻敲模式下扫描参数对成像质量影响的研究
陈建超1,2,安小广1,冯世绪1,王加春1,2
1.燕山大学 机械工程学院, 河北 秦皇岛 066004
2.河北省重型智能制造装备技术创新中心, 河北 秦皇岛 066004
Research on the Influence of Scanning Parameters on Imaging Quality in AFM Tapping Mode
CHEN Jian-chao1,2,AN Xiao-guang1,FENG Shi-xu1,WANG Jia-chun1,2
1. School of Mechanical Engineering, Yanshan University, Qinhuangdao, Hebei 066004, China
2. Innovation Center of Heavy-duty Intelligent Manufacturing Equipment in Hebei Province, Qinhuangdao, Hebei 066004, China
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