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计量学报  2020, Vol. 41 Issue (7): 769-774    DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2020.07.01
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毫米级纳米几何特征尺寸计量标准装置多自由度激光干涉计量系统
施玉书,张树,连笑怡,李伟,李琪,黄鹭,高思田
中国计量科学研究院,北京 100029
Multi-DOF Laser Interferometry System for Metrological Standard Device for Nano-geometrical Characteristic Size in Millimeter Range
SHI Yu-shu,ZHANG Shu,LIAN Xiao-yi,LI Wei,LI Qi,HUANG Lu,GAO Si-tian
National Institute of Metrology, Beijing 100029, China
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