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计量学报  2020, Vol. 41 Issue (6): 676-681    
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一种单频激光干涉仪非线性误差修正方法研究
金涛1,唐一揆1,乐燕芬1,刘芳芳2,雷李华2
1.上海理工大学 光电信息与计算机工程学院,上海 200093
2.上海市计量测试技术研究院,上海 201203
A research on correction method of nonlinear errors for homodyne laser interferometer
JIN Tao1,TANG Yi-kui1,LE Yan-fen1,LIU Fang-fang2,LEI Li-hua2
1. School of Optical-Electrical and Computer Engineering, University of Shanghai for Science and Technology, Shanghai 200093, China
2.  Shanghai Institute of Measurement and Testing technology, Shanghai 201203, China
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