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计量学报  2019, Vol. 40 Issue (6A): 17-22    DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2019.6A.004
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AFM设定值对测量准确度和探针寿命的影响
唐莹, 曹丛, 张健, 赵东升
山东省计量科学研究院,山东济南250014
The Effects of Different Setpoint to Measuring Accuracy and Service Life of a Probe on AFM
TANG Ying, CAO Cong, ZHANG Jian, ZHAO Dong-sheng
Shandong Institute of Metrology, Jinan, Shandong 250014, China
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