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计量学报  2019, Vol. 40 Issue (4): 549-556    DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2019.04.02
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扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法
刘俭1,谷康1,李梦周2,由小玉1,刘辰光3,王宇航3,谭久彬2
1. 哈尔滨工业大学 现代显微仪器研究所,黑龙江 哈尔滨 150001
2. 哈尔滨工业大学 超精密光电仪器工程研究所,黑龙江 哈尔滨 150001
3. 哈尔滨工业大学 空间基础科学研究中心, 黑龙江 哈尔滨 150001
Calibration Method for Depth Measurement of Nano/microstructure in Scanning Probe Microscopy
LIU Jian1,GU Kang1,LI Meng-zhou2,YOU Xiao-yu1,LIU Chen-guang3,WANG Yu-hang3,TAN Jiu-bin2
1. Advanced Microscopy and Instrumentation Research Center, Harbin Institute of Technology, Harbin, Heilongjiang 150001, China
2. Center of Ultra-Precision Optoelectronic Instrument Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin, Heilongjiang 150001, China
3. Research Center of Basic Space Science, Harbin Institute of Technology,Harbin, Heilongjiang 150001, China
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