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计量学报  2018, Vol. 39 Issue (3): 299-303    DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2018.03.03
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表面和亚表面特性对多层膜光栅成像对比度的影响
张龙飞1,2,王星睿1,2,邓晓2,3,程鑫彬1,2
1.同济大学 物理科学与工程学院, 上海 200092
2.同济大学 精密光学工程技术研究所, 上海 200092
3.同济大学 航空航天与力学学院, 上海 200092
Effect of Surface and Sub-surface Characteristics on the Contrast of Multilayer Film Grating Imaging
ZHANG Long-fei1,2,WANG Xing-rui1,2,DENG Xiao2,3,CHENG Xin-bin1,2
1. School of Physical Science and Engineering, Tongji University, Shanghai 200092, China
2. Institute of Precision Optical Engineering, Tongji University, Shanghai 200092, China
3. School of Aerospace Engineering and Applied Mechanics, Tongji University, Shanghai 200092, China
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