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计量学报  2023, Vol. 44 Issue (8): 1169-1175    DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2023.08.03
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高品质因子氟化镁晶体微腔制备与测试
瞿志二1,2,潘奕捷1,刘贤文2,张诚1,2,王瑾1,屈继峰1
1. 中国计量科学研究院 前沿计量科学研究中心, 北京 100029
2. 北京理工大学 光电学院, 北京 100081
Fabrication and Test of High Quality Factor MgF2 Crystal Microcavity
QU Zhi-er1,2,PAN Yi-jie1,LIU Xian-wen2,ZHANG Cheng1,2,WANG Jin1,QU Ji-feng1
1. Center for Advanced Measurement Science, National Institute of Metrology, Beijing 100029, China;
2. School of Optics and Photonics, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081, China
全文: PDF (776 KB)   HTML (1 KB) 
输出: BibTeX | EndNote (RIS)      
摘要 研制了基于直线电机、高精度光栅尺、力学反馈单元的精密自动磨抛系统。在制备晶体微腔时,该系统可准确控制晶体微腔的尺寸、厚度及外形。采用预成型、粗磨、粗抛以及精抛等步骤制备了具有高品质因子的氟化镁晶体梯形微盘腔。利用白光干涉仪表征精抛后的氟化镁晶体表面粗糙度为2.84nm。通过搭建锥形光纤与晶体微腔耦合测试系统,采用光腔衰荡方法测得所制备的晶体微腔在1550nm处的本征品质因子为4.55×108
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作者相关文章
瞿志二
潘奕捷
刘贤文
张诚
王瑾
屈继峰
关键词 计量学光学微腔氟化镁晶体高品质因子精密磨抛    
Abstract:Based on a linear motor, a high precision scale and a mechanical feedback unit, a precision automatic grinding and polishing system was developed. The system enabled accurately control the size, thickness and shape of the crystal microcavities during preparation. The trapezoidal micro-disk cavity of magnesium fluoride crystal with high quality factor was fabricated by preforming, rough grinding, rough polishing and fine polishing. The surface roughness of magnesium fluoride crystal after precision polishing was characterized to be 2.84nm using a white light interferometer. By setting up a taper fiber and crystal microcavity coupling testing system, the quality factor of the prepared crystal microcavity was measured to be 4.55×108 at 1550nm by the optical cavity ring-down method.
Key wordsmetrology    optical microcavity    MgF2 crystal    high quality factor    precision polishing
收稿日期: 2023-01-03      发布日期: 2023-08-22
PACS:  TB96  
基金资助:国家重点研发计划(2022YFF0608304, 2021YFA1401200);国家自然科学基金(62075206, 62205324, 62105023)
通讯作者: 潘奕捷(1980-), 男, 北京人,中国计量科学研究院副研究员,主要从事微腔光子测温与芯片级量子计量方面的研究。Email:panyijie@nim.ac.cn      E-mail: panyijie@nim.ac.cn
作者简介: 瞿志二(1998-), 男, 湖北黄冈人,北京理工大学在读硕士研究生,研究方向为晶体微腔加工及应用。Email:3220200451@bit.edu.cn
引用本文:   
瞿志二,潘奕捷,刘贤文,张诚,王瑾,屈继峰. 高品质因子氟化镁晶体微腔制备与测试[J]. 计量学报, 2023, 44(8): 1169-1175.
QU Zhi-er,PAN Yi-jie,LIU Xian-wen,ZHANG Cheng,WANG Jin,QU Ji-feng. Fabrication and Test of High Quality Factor MgF2 Crystal Microcavity. Acta Metrologica Sinica, 2023, 44(8): 1169-1175.
链接本文:  
http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/10.3969/j.issn.1000-1158.2023.08.03     或     http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/Y2023/V44/I8/1169
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