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计量学报  2022, Vol. 43 Issue (5): 657-661    DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2022.05.15
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用于芯片电容精确测量的在片开路方法研究
李灏,乔玉娥,丁晨,丁立强,刘霞美,吴爱华
中国电子科技集团公司 第十三研究所,河北石家庄050051
Research on On-wafer Open Method for Chip Capacitance Measurement
LI Hao,QIAO Yu-e,DING Chen,DING Li-qiang,LIU Xia-mei,WU Ai-hua
The 13th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation, Shijiazhuang, Hebei 050051, China
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