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计量学报  2022, Vol. 43 Issue (3): 412-415    DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2022.03.17
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用于量子电压基准中约瑟夫森结阵列的CMP平整化工艺研究
赵欣,曹文会,李劲劲
中国计量科学研究院 前沿计量科学中心,北京 102200
Exploring the CMP Process for Josephson Junction Arrays Used in Voltage Standard
ZHAO Xin,CAO Wen-hui,LI Jin-jin
Center for Advanced Measurement Science, National Institute of Metrology, Beijing 102200, China
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