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计量学报  2022, Vol. 43 Issue (2): 287-292    DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2022.02.24
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基于光腔衰荡光谱法的水汽线形强度测量
马路遥1,2,3,马若梦3,徐鸿1,冯晓娟2,张金涛2,3,林鸿2,3
1.中国计量大学计量测试工程学院,浙江 杭州 310018
2.中国计量科学研究院热 工计量科学研究所,北京 100029
3.郑州计量先进技术研究院,河南 郑州 450001
Measurement of Water Vapor Linear Intensity Based on Cavity Ring-Down Spectroscopy
MA Lu-yao1,2,3,Ma Ruo-meng3,XU Hong1,FENG Xiao-juan2,ZHANG Jin-tao2,3,LIN Hong2,3
1. College of Metrology & Measurement Engineering, China Jiliang University, Hangzhou, Zhejiang 310018, China
2. Division of Thermophysics and Process Measurement, National Institute of Metrology, Beijing 100029,China
3. Zhengzhou Institute of Metrology, Zhengzhou, Henan 450001, China
全文: PDF (2159 KB)   HTML (1 KB) 
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摘要 随着半导体芯片行业的迅速发展,对电子气体的要求也逐渐提高。半导体加工环境中的痕量水分会严重影响芯片的良率和可靠性。光腔衰荡光谱法是近年来发展的一种具有高灵敏度和准确性的痕量气体测量方法,线形强度是光谱法测量的重要参数。为测量痕量水分,建立了一套光腔衰荡光谱系统,测量了中心频率在 7171.10491cm-1和7177.6565cm-1的吸收光谱,通过HTP(Hartmann-Tran profile)线形拟合得到线形强度,测量结果的相对标准不确定度优于1.8%,与HITRAN、HITEMP和GEISA数据库比较,相对偏差小于6%。
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作者相关文章
马路遥
马若梦
徐鸿
冯晓娟
张金涛
林鸿
关键词 计量学光腔衰荡光谱痕量水分电子气体线形强度    
Abstract:With the rapid development of the semiconductor chip industry, the requirements for electronic gases have gradually increased. Trace moisture in the semiconductor processing environment will seriously affect the yield and reliability of the chip. Cavity ring-down spectroscopy is a trace gas measurement method with high sensitivity and accuracy developed in recent years, and the linear intensity is an important parameter for the measurement of spectroscopy. In order to measure the trace humidity, an optical cavity ring-down spectroscopy system for trace humidity measurement was established. The absorption spectra with the center frequencies at 7171.10491cm-1 and 7177.6565cm-1 were measured. The linear intensity was obtained by HTP (Hartmann-Tran profile) linear fitting. The relative standard uncertainty of the measurement result is better than 1.8%. Compared with HITRAN, HITEMP and GEISA databases, the relative deviation is less than 6%.
Key wordsmetrology    cavity ring-down spectroscopy    trace moisture    electronic gases    line intensities
收稿日期: 2021-04-27      发布日期: 2022-02-23
PACS:  TB99  
  TB973  
基金资助:国家自然科学基金(51976206)
通讯作者: 林鸿(1979-),男,湖南常德人,中国计量科学研究院研究员,主要从事反演计算、气候变化、温室气体和大气污染物精密光谱测量等研究。Email: linhong@nim.ac.cn     E-mail: linhong@nim.ac.cn
作者简介: 马路遥(1996-),男,浙江余姚人,中国计量大学计量测试工程学院硕士研究生,主要研究方向为激光光谱测量。Email:1366853328@qq.com
引用本文:   
马路遥,马若梦,徐鸿,冯晓娟,张金涛,林鸿. 基于光腔衰荡光谱法的水汽线形强度测量[J]. 计量学报, 2022, 43(2): 287-292.
MA Lu-yao,Ma Ruo-meng,XU Hong,FENG Xiao-juan,ZHANG Jin-tao,LIN Hong. Measurement of Water Vapor Linear Intensity Based on Cavity Ring-Down Spectroscopy. Acta Metrologica Sinica, 2022, 43(2): 287-292.
链接本文:  
http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/10.3969/j.issn.1000-1158.2022.02.24     或     http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/Y2022/V43/I2/287
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