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计量学报  2020, Vol. 41 Issue (5): 558-562    DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2020.05.08
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基于相机的光反射热成像误差分析
刘岩,翟玉卫,李灏,韩伟,荆晓冬,梁法国
中国电子科技集团公司 第十三研究所,河北 石家庄 050051
Error Analysis of CCD-Based Thermoreflectance Microscopy
LIU Yan,ZHAI Yu-wei,LI Hao,HAN Wei,JING Xiao-dong,LIANG Fa-guo
The 13th Research Institute, CETC, Shijiazhuang, Hebei 050051, China
全文: PDF (399 KB)   HTML (1 KB) 
输出: BibTeX | EndNote (RIS)      
摘要 光反射测温过程主要包括CTR校准和温度测量两大步骤,涉及诸多测量量和影响因素。针对基于相机的光反射显微热成像系统,对CTR校准过程和温度测量过程中的各测量量对测温结果的误差贡献进行分析,同时还分析了相机读数的固定偏置项以及光源和相机响应度漂移对测温结果的误差贡献。基于分析结果,结合典型参数开展了估算和讨论,可为基于相机光反射测温系统的设计、组建和应用提供有益参考。
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作者相关文章
刘岩
翟玉卫
李灏
韩伟
荆晓冬
梁法国
关键词 计量学光反射测温误差分析显微热成像    
Abstract:Thermoreflectance includes two major procedures, namingly CTR calibration and temperature measurement. Several measured quantities and influencing factors are involved in each procedure. Error analysis on measured quantities involved with CTR calibration and temperature measurement procedure were present. Moreover, fixed bias on CCD count and drift of light source and camera responsiveness were included in the analysis as well. Approximate calculation with typical parameters were carried on according to the result of the analysis, and the discussion were made can provide some reference for the design, construction and application of the CCD-based thermoreflectance systems.
Key wordsmetrology    thermoreflectance    error analysis    microscopy    thermal imaging
收稿日期: 2018-10-29      发布日期: 2020-05-14
PACS:  TB942  
通讯作者: 梁法国(1965-),山东聊城人,中国电子科技集团公司第十三研究所研究员级高工,硕士,主要从事微电子计量测试方面的研究工作。Email: liangdao80@163.com     E-mail: liangdao80@163.com
作者简介: 刘岩(1988-),男,河北石家庄人,中国电子科技集团公司第十三研究所工程师,从事电学、热学、光电子等计量测试相关研究。Email: 15131161951@163.com
引用本文:   
刘岩,翟玉卫,李灏,韩伟,荆晓冬,梁法国. 基于相机的光反射热成像误差分析[J]. 计量学报, 2020, 41(5): 558-562.
LIU Yan,ZHAI Yu-wei,LI Hao,HAN Wei,JING Xiao-dong,LIANG Fa-guo. Error Analysis of CCD-Based Thermoreflectance Microscopy. Acta Metrologica Sinica, 2020, 41(5): 558-562.
链接本文:  
http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/10.3969/j.issn.1000-1158.2020.05.08     或     http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/Y2020/V41/I5/558
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