测量系统分析在粗糙度测量中的应用
黄彩清,罗金刚
深圳赛意法微电子有限公司,广东 深圳 518038
The Application of MSA in Roughness Measurement
HUANG Cai-qing,LUO Jin-gang
Shenzhen STS Microelectronics Co. Ltd., Shenzhen, Guangdong 518038, China
摘要 为了正确合理地将测量系统分析运用到实际工作中以确保数据的有效性,结合实际产品需求,选用表面粗糙度作为实际测量参数,从分辨力,偏倚,线性,稳定性以及重复性和再现性等几个方面,全面阐述了测量系统分析在粗糙度测量工作中的实际应用以及常见误区。该应用方法对测量系统分析在其他各个测量领域的广泛和正确应用提供参考和指导。
关键词 ：
计量学 ,
测量系统分析 ,
粗糙度 ,
分辨力 ,
偏倚 ,
线性 ,
稳定性
Abstract ：In order to apply measurement system analysis to actual work correctly and reasonably and to ensure the validity of measurement data, surface roughness is chosen as measurement parameter combing with actual products demand and the measurement system analysis in the practical application of roughness measurement and common pitfalls are comprehensively explained from discrimination, bias, linearity, stability, repeatability and reproducibility and several aspects. This method has important reference and guidance significance for the wide and correct application of measurement system analysis in other measurement fields.
Key words ：
metrology
measurement system analysis(MSA)
roughness
resolution
bias
linearity
stability
作者简介 : 黄彩清(1983-),女,汉,湖南衡阳人,深圳赛意法微电子有限公司检测和校准实验室技术负责人,硕士,负责测量系统分析、校准,材料分析与失效分析等工作。Email: Caiqing.huang@st.com
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