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计量学报  2012, Vol. 33 Issue (4): 321-325    DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2012.04.08
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大口径精密光学元件质量检测装置
米曾真1,谢志江1,袁晓东2,刘长春2,徐旭2,楚红雨1
1.重庆大学机械传动国家传动重点实验室, 重庆 400044
2.中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
Testing Device for Large Caliber Precision Optical Element
MI Zeng-zhen1,XIE Zhi-jiang1,YUAN Xiao-dong2,LIU Chang-chun2,XU Xu2,CHU Hong-yu1
1.The state key laboratory of mechanical transmission, Chongqing University, Chongqing 400044, China
2.Research Center of Laser Fusion, CAEP, Mianyang, Sichuan 610054,China
全文: PDF (1210 KB)   HTML (1 KB) 
输出: BibTeX | EndNote (RIS)      
摘要 针对精密光学元件表面缺陷检测效率低、大口径元件不便于检测问题,设计了一种应用于大型激光装置的大口径光学元件缺陷检测装置。通过强光手电筒、LED灯及高亮度卤素灯3种光源对40 mm×40 mm的K9样片暗场成像对比实验,得知光照强度最大的卤素灯光源检测效果最佳。研究了基于线阵CCD扫描的三维电控平移台的运动机理,确保高精度图像的采集。在此基础上,分析了图像区域定位、二值化处理、缺陷的检测等关键技术,实现了元件的高精度、实时在线检测。
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米曾真
谢志江
袁晓东
刘长春
徐旭
楚红雨
关键词 计量学精密光学元件暗场成像图像处理激光惯性约束聚变线阵CCD三维平移台    
Abstract:Aiming at the low detection efficiency of precision optical element,large caliber precision optical element was hard to be tested,a testing device for large caliber precision optical element which applied to large laser facility was designed.Through the contrast experiment on irradiate 40 mm×40 mm K9 sample plates with strong light flashlight, LED light,high brightness halogen lamp in dark field,the best detection efficiency can be got with the halogen lamp in which light intensity is the largest.3D electronic transaction platform based on linear CCD scanning was studied,this can ensure the high precision image to be grabbed.On this basis,the key technologies of image regional location,binary processing,defect detection were analyzed,element detection in high precision and real time were realized.
Key wordsMetrology    Precision optical element    Dark field image    Image processing    ICF    Linear CCD    3D transaction platform
    
PACS:  TB96  
基金资助:国家自然科学基金委员会与中国工程物理研究院联合基金资助(10976034)
作者简介: 米曾真(1984-),男,湖南怀化人,重庆大学博士研究生,主要研究方向为数字图像处理及测控技术。cqumzh@cqu.edu.cn
引用本文:   
米曾真,谢志江,袁晓东,刘长春,徐旭,楚红雨. 大口径精密光学元件质量检测装置[J]. 计量学报, 2012, 33(4): 321-325.
MI Zeng-zhen,XIE Zhi-jiang,YUAN Xiao-dong,LIU Chang-chun,XU Xu,CHU Hong-yu. Testing Device for Large Caliber Precision Optical Element. Acta Metrologica Sinica, 2012, 33(4): 321-325.
链接本文:  
http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/10.3969/j.issn.1000-1158.2012.04.08     或     http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/Y2012/V33/I4/321
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