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计量学报  2014, Vol. 35 Issue (z1): 67-71    DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2014.z1.015
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新型一等大量块标准装置的研制
张旭东,刘香斌,吴月艳
中国计量科学研究院, 北京 100029
Research on Long Gauge Block Interferometer
ZHANG Xu-dong,LIU Xiang-bin,WU Yue-yan
National Institute of Metrology, Beijing 100029, China
全文: PDF (2981 KB)   HTML (1 KB) 
输出: BibTeX | EndNote (RIS)      
摘要 采用多波长干涉法实现125~1 000 mm量块的高精度测量。633 nm、543 nm和612 nm 3种激光波长通过单根光纤引入到一台泰曼-格林型干涉仪中,采用小数重合法进行量块长度测量。改进的Edlen公式用于激光波长修正,干涉条纹小数采用5步移相法计算,专用的测量软件完成量块的自动测量。对测量装置进行了大量的测量实验,测量不确定度为U=0.02 μm+ 0.1×10- 6L(k=3)。
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作者相关文章
张旭东
刘香斌
吴月艳
关键词 计量学量块移相干涉小数重合法    
Abstract:A long gauge block interferometer for 125~1000 mm used multi-wavelengths interferometry is developed.Three stable lasers, 633nm, 543nm and 612nm, are introduced into interferometer by using a single mode fiber and used as measuring lights.The gauge block length is measured by the method of exact fractions, and five step phase stepping method is used for the calculation of fractions of interference fringes.In the chamber, the refractive index of air is calculated by modified Edlen formula to correct wavelengths.The uncertainty for gauge block measurement is U=0.02 μm+ 0.1×10- 6 L(k=3)。
Key wordsMetrology    Gauge blocks    Phase stepping interferometery    Method of exact fractions
    
基金资助:中国计量科学研究院基本科研业务费(AKY1329-13)
作者简介: 张旭东(1977-),男,河北任丘人,中国计量科学研究院副研究员,从事几何量精密测量。zhxd@nim.ac.cn
引用本文:   
张旭东,刘香斌,吴月艳. 新型一等大量块标准装置的研制[J]. 计量学报, 2014, 35(z1): 67-71.
ZHANG Xu-dong,LIU Xiang-bin,WU Yue-yan. Research on Long Gauge Block Interferometer. Acta Metrologica Sinica, 2014, 35(z1): 67-71.
链接本文:  
http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/10.3969/j.issn.1000-1158.2014.z1.015     或     http://jlxb.china-csm.org:81/Jwk_jlxb/CN/Y2014/V35/Iz1/67
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